标准名称 　 ：QSY，DSY透明石英玻璃仪器

标准类型 　 ：中华人民共和国国家标准

标准号　　　：JC 181-81

标准发布单位：国家标准局 发布

标准正文　　：正文

本标准主要用于半导体工业采用的透明石英玻璃仪器。其他冶金、化工、科学研究等所用透明石英玻璃仪器之技术要求均可参考本标准执行。

透明石英玻璃仪器有QSY透明石英玻璃仪器和DSY透明石英玻璃仪器两种。

一、技术要求

1．透明石英玻璃仪器的化学成分，热稳定性，抗结晶性和高温变色性，均不低于同类管材的要求。

2．透明石英玻璃仪器在加工过程中，应尽量消除应力，必须保证在常温下逐步升温至1100℃，在炉内自然冷却后无炸裂。

3．两种透明石英玻璃仪器均按加工部位的外观指标分为二级（见下表）。

项 目 一 级 二级

色 加工过程中混入（毫米） 0.1- 0.3 0.3- 1.0

斑 允许数量（个/100厘米[2]） ≤2 ≤2

外 管接口应做到轴向平行径向垂直加工 1/2管材壁厚 管材壁厚

表面凸凹不大于所用管材壁厚

型 长度未注明非重要部位的自由公差（毫米） ±3 ±3

锥度（比例） 1∶5、1∶10、1∶15 1∶5、1∶10、1∶15

磨口与未加工亮面呈直径圆周，弯曲度（毫米） ±1 ±2

磨 磨口内亮面（毫米[2]） 不允许 8 {HotTag}

口 允许数量（个/100厘米[2]） 不允许 ≤1

配 塞口的高低公差（毫米） ±3 ±3

合 二通活塞对孔误差 ≤1/4 ≤1/3

多通活塞对孔误差 ≤1/2 ≤3/5

水 面积（毫米[2]） ≤10 11- 50

迹 允许数量（个/100厘米[2]） ≤2 ≤2

云 在加工复杂器件的过程中不易避免的部位 不允许 不允许

雾 （半透明云雾）

焊 焊接之弯曲处熔合圆滑 必须完全熔合 必须熔合

折料和料疙瘩处厚度 在壁厚公差范围内 在壁厚公差范围内

接 炸裂纹 不允许 不允许

析晶和指纹印 不允许 不允许

注：

①密封性检验方法：将水盛入磨口仪器中，在不涂油脂的情况下，将塞塞紧，倒翻10次，每次在10秒内，用滤纸擦试无渗出水液为封口性能合格。

②QSY透明石英玻璃仪器的非主体部分，在不影响性能的情况下，可用外径D19

毫米以下的DTS1透明石英玻璃管（棒）。

4．透明石英玻璃仪器，非加工部位（允许加工后达到要求）的技术要求如下。

（1）QSY透明石英玻璃仪器：

仪器的一级品外观指标不低于相应管材的二级品；

仪器的二级品外观指标不低于租应管材的三级品。

（2）DSY透明石英玻玛仪器：

仪器的一级品外观指标不低于相应管材的二级品；

仪器的二级品外观指标不低于相应管材的四级品。